| 主权项 |
1.一种晶片立式液相磊晶成长船,适用于将至少一 披覆层 溶液磊晶成长于至少一晶片上,其包括至少一磊晶 成长槽 ,至少一晶片装设于磊晶成长槽中呈立式,成长溶 液充满 于磊晶成长槽中使晶片立式成长磊晶层。2.一种 基板直立式液相磊晶成长船,适用于将至少一磊晶 层溶液磊晶成长于至少一基板上,该基板直立式液 相磊晶 成长船包括:一溶液槽,具有至少一槽穴,用以容纳 上述 磊晶层溶液,且上述槽穴的穴底设有至少一溶液注 入口; 至少一磊晶成长槽,用以设置上述基板,且上述磊 晶成长 槽系设置于上述溶液槽的溶液注入口下,用以使上 述磊晶 层溶液经由上述溶液槽的溶液注入口而注入至上 述磊晶成 长槽,俾于上述基板成长磊晶层,又于上述磊晶成 长槽的 槽底,设有溶液排出口,用以于磊晶成长后排出上 述磊晶 溶液;一磊晶船基座,设置于上述磊晶成长槽的溶 液排出 口下,且上述磊晶船基座设有至少一回收槽,用以 回收由 上述磊晶成长槽的溶液排出口所排出的磊晶溶液; 一第一 滑动板,以可滑动方式设置于上述溶液槽与上述磊 晶成长 槽之间,用以开、闭上述溶液槽的溶液注入口;以 及一第 二滑动板,以可滑动方式设置于上述磊晶成长槽与 上述磊 晶船基座之间,且上述第二滑动板设有至少一溶液 引导口 ,用以开、闭上述磊晶船基座的溶液排出口,并将 由上述 磊晶成长槽的溶液排出口所排出的磊晶溶液引导 至上述磊 晶船基座的回收槽。3.如申请专利范围第2项所述 之基板直立式液相磊晶成长 船,其中,上述晶磊成长槽系由至少二片直立的基 板承载 板所构成,而使上述基板能够面对面地设置。4.如 申请专利范围第2或3项所述之基板直立式液相磊 晶成 长船,其中,上述第一滑动板及上述第二滑动板分 别由石 英棒来使之滑动。5.如申请专利范围第4项所述之 基板直立式液相磊晶成长 船,其中,上述磊晶船基座设有热电偶。6.如申请专 利范围第1或2项所述之晶片立式液相磊晶成长 船,其中磊晶成长槽的槽底系设置呈斜向中央溶液 排出口 的倾斜面。7.如申请专利范围第1或2项所述之晶片 立式液相磊晶成长 船,其中磊晶成长槽上设置至少一个滑槽,可供晶 片直立 滑入于其内。8.如申请专利范围第1或2项所述之晶 片立式液相磊晶成长 船,其中晶片可斜立式装设于磊晶成长槽中。9.如 申请专利范围第1或2项所述之晶片立式液相磊晶 成长 船,其中晶片以直立式装设于磊晶成长槽中。10.如 申请专利范围第2项所述之晶片立式液相磊晶成长 船 ,其中回收槽可分隔为两个,以分别回收P层与N层溶 液。 |
