发明名称 Deposition process
摘要
申请公布号 AUPR353601(D0) 申请公布日期 2001.03.29
申请号 AU2001PR03536 申请日期 2001.03.05
申请人 COMMONWEALTH SCIENTIFIC AND INDUSTRIAL RESEARCH ORGANISATION 发明人
分类号 C23C14/00;C23C14/06;C23C14/22;C23C14/32;C23C14/35 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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