| 发明名称 |
ILLUMINATION TECHNIQUES FOR OVERCOMING SPECKLE ARTIFACTS IN METROLOGY APPLICATIONS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1086399(A1) |
申请公布日期 |
2001.03.28 |
| 申请号 |
EP19990922478 |
申请日期 |
1999.05.27 |
| 申请人 |
OPTIMET OPTICAL METROLOGY LTD. |
发明人 |
SIRAT, GABRIEL, Y. |
| 分类号 |
G02B27/48;(IPC1-7):G02B27/48;G03H1/32 |
主分类号 |
G02B27/48 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
