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经营范围
发明名称
PLASMA GENERATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11251090(A)
申请公布日期
1999.09.17
申请号
JP19980066136
申请日期
1998.03.02
申请人
FOI:KK;KOBE STEEL LTD
发明人
OKUMURA YUTAKA;NOZAWA TOSHIHISA;ISHIBASHI KIYOTAKA;TOKUMURA TETSUO
分类号
H01L21/302;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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