发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Sicherstellung der Hitzeübertragung auf BZW von einem ganzen Substrat während der Bearbeitung eines Halbleiterbauteils
摘要
申请公布号 DE69426679(D1) 申请公布日期 2001.03.22
申请号 DE19946026679 申请日期 1994.04.20
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 TEPMAN, AVI
分类号 H01L21/205;H01L21/00;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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