激光加工法、利用该方法生产喷墨记录头和喷墨记录头

摘要

采用飞秒激光器并且采用通过与激光器振荡异步地进行扫描来照射掩模图案的方法进行升华加工,从而形成一个通过激光束衍射穿过掩模图案而产生的光斑干涉的完整的图象,并且与图案图象同步地移动工件,从而该激光加工法就不会产生副产品并能够进行高精度的加工,通过掩模投影在加工中抑制了光斑干涉,从而精确地复制了所述精密的掩模图案,以及通过对一个大面积图案进行投影来加工工件,一种利用这种激光加工法制造喷墨记录头的方法及一种通过所提供的这种加工法而制成的喷墨记录头。

主权项

1．一种通过用激光束照射工件而对工件进行激光蚀刻的激光加工法，该方法包括步骤：在通过把激光束投影在一个掩膜图案上而进行加工时，采用在空间和时间上具有非常高能量密度的多脉冲的激光束，该激光束从一个能够以一个不超过1皮秒的脉冲发射时间进行振荡的激光振荡器中发射出来；以及通过激光束源和掩模图案之间的相对运动进行扫描照射。