| 摘要 |
<p>본 발명은 연마제 가열 시스템 및 방법에 관한 것으로, 전원부(20)로부터 교류 전원을 제공받은 가열 코일(32)에 의하여 에너지가 발생되어 연마제(10)로부터 튜브(36)를 통하여 공급되는 연마제(slurry)가 가열된다. 이때, 온도 센서(34)는 상기 튜브내의 연마제 온도를 감지하여 메커노케미컬 연마가공(CMP)내의 마이컴으로 전송하면, 상기 마이컴은 온도 센서(34)로부터 전송된 온도가 저장된 온도와 동일하면, 상기 가열된 연마제가 정반(platen)(40)으로 공급하도록 제어한다. 따라서, 웨이퍼의 연마가공 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.</p> |
