发明名称 METHOD FOR COATING SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 JPH04171736(A) 申请公布日期 1992.06.18
申请号 JP19900297248 申请日期 1990.11.05
申请人 MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUKAMOTO HIROMASA
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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