Aktorbauglied für einen Mikrozerstäuber und Verfahren zu seiner Herstellung

摘要

Ein Aktorbauglied für einen piezoelektrisch betriebenen Mikrozerstäuber umfaßt eine in einem Halbleitersubstrat gebildete Membran, einen auf einer Oberfläche der Membran angeordneten piezoelektrischen Aktor, durch den die Membran in Schwingungen versetzbar ist, und eine in dem Halbleitersubstrat gebildete Kanaleinrichtung zum Zuführen einer zu zerstäubenden Flüssigkeit von einem Einlaßende zu der dem piezoelektrischen Aktor gegenüberliegenden Oberfläche der Membran. Ein Mikrozerstäuber unter Verwendung eines derartigen Aktorbauglieds umfaßt eine Halterung, an der das Aktorbauglied derart fixiert ist, daß das Einlaßende fluidmäßig mit einer Flüssigkeitszuführungsleitung verbunden ist, daß die Kanaleinrichtung mit Ausnahme einer fluidmäßigen Verbindung derselben mit der Flüssigkeitszuführungsleitung und der dem piezoelektrischen Aktor gegenüberliegenden Oberfläche der Membran durch die Halterung abgedichtet ist, und daß im Bereich der dem piezoelektrischen Aktor gegenüberliegenden Oberfläche der Membran eine Öffnung der Halterung zum Ausstoß der zerstäubten Flüssigkeit vorgesehen ist.