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发明名称 TWO-PIECE SLIT VALVE DOOR WITH MOLDED-IN-PLACE SEAL FOR A VACUUM PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20010021748(A) 申请公布日期 2001.03.15
申请号 KR1020007000311 申请日期 2000.01.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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