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发明名称 MICROCHAMBER
摘要
申请公布号 EP1082470(A1) 申请公布日期 2001.03.14
申请号 EP19990921399 申请日期 1999.04.22
申请人 ULTRATECH STEPPER INC. 发明人 DAVISON, JOHN, E.;WEINER, KURT
分类号 C23C16/48;C23C16/44;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):C23C16/48;G03B27/00 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
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