锌硒结晶之热处理方法

摘要

本发明系提供一种不使析出物发生于结晶内,且可抑制结晶性之恶化,并使低电阻可能化之锌硒结晶的热处理方法。本发明之锌硒结晶的热处理方法，系将利用输送媒介为碘之化学输送法而成长之ZnSe结晶，在Zn蒸气气氛下经热处理，而以10～200℃/分之范围来调整热处理后的冷却速度。

主权项

1.一种锌硒单结晶之热处理方法,系将利用输送媒介为碘之化学输送法而成长之锌硒单结晶,在锌蒸气气氛下热处理,其包括以800-1000℃之温度加热锌硒单结晶之及以750-1100℃之温度加热金属锌之步骤,其特征在于:以10-200℃/分之范围调整热处理后之冷却速度。图式简单说明:第一图系用以实施本发明热处理方法之装置的概念图。