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发明名称 WAVELENGTH-DEPENDENT SURFACE CONTOUR MEASUREMENT SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1078218(A2) 申请公布日期 2001.02.28
申请号 EP19990919512 申请日期 1999.05.11
申请人 METROPTIC TECHNOLOGIES, LTD. 发明人 BEN-DOV, SHIMSHON;LANZET, IGAL;KUPERMAN, IGOR
分类号 G01B11/24;G01S7/481;G01S17/87;G01S17/89;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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