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发明名称 AN AUTOMATED SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1078392(A1) 申请公布日期 2001.02.28
申请号 EP19990926698 申请日期 1999.05.13
申请人 APPLIED KOMATSU TECHNOLOGY, INC. 发明人 BEER, EMANUEL;WHITE, JOHN, M.
分类号 B25J9/16;B65G49/06;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B25J9/16
代理机构 代理人
主权项
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