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经营范围
发明名称
LOW RESISTIVITY W USING DIBORANE
摘要
申请公布号
KR20010012627(A)
申请公布日期
2001.02.26
申请号
KR19997010588
申请日期
1999.11.16
申请人
null, null
发明人
라자고파란,라비;자나옌,스티브;야마자끼,마나브;오쯔까,게이찌;마에다,유지
分类号
C23C16/08;C23C16/02;C23C16/14;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768
主分类号
C23C16/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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