| 主权项 |
1.一种气体供应装置,其特征为:构成主换向阀的4位阀之两个流出口内的一个流出口与另一个流出口,分别连接与分析器等的机器连接的机器连接路径与排气路径,该4位阀的两个流入口分别连接气体供应共通路径,同时,该两个气体供应共通路径中的至少一个,具备连接于可切换两系统的气体体应路径之由2口3位阀或4位阀所构成的换向阀。2.如申请专利范围第1项所述之气体供应装置,其中构成该换向阀的2口位3位阀,其流出口连接于该气体供应共通路径,且两个流入口连接于该两系统的气体供应路径,构成该换向阀的4位阀,其两个流出口内的一个连接于该气体供应共通路径,且另一个流出口连接于排气路径,同时,两个流入口连接于该两系统的气体供应路径。3.如申请专利范围第1项所述之气体供应装置,其中构成该换向阀的2口3位阀,包括:第一阀,用以切换使第一流入口与该流出口连通的状态,与遮断第一流入口与流出口的状态;第二阀,用以切换使第二流入口与流出口连通的状态,与遮断第二流入口与流出口的状态,其中两阀系当任何一个阀变成连通状态时,另一个阀动作系为了变成遮断状态。4.如申请专利范围第3项所述之气体供应装置,其中与该第一流入口连通的流路,分岔连接具有流量调节器的排气路径。5.如申请专利范围第1项所述之气体供应装置,其中构成该换向阀的4位阀,包括:第一阀,用以切换使第一流入口与第一流出口连通的状态,与遮断第一流入口与第一流出口的状态;第二阀,用以切换使第二流入口与第一流出口连通的状态,与遮断第二流入口与第一流出口的状态;第三阀,用以切换使第一流入口与第二流出口连通的状态,与遮断第一流入口与第二流出口的状态;第四阀,用以切换使第二流入口与第二流出口连通的状态,与遮断第二流入口与第二流出口的状态,其中当第一阀与第四阀变成连通状态或遮断状态时,第二阀与第三阀动作系为了变成遮断状态或连通状态,第二流出口连接具有流量调节器的排气路径。6.一种气体供应方法,使用申请专利范围第1项至第5项中任一项所述之气体供应装置,该供应气体的方法,其特征为:供应该各气体供应路径的复数气体中,混合时发生反应的两种类反应性气体存在时,该两个气体供应共通路径分别配设该换向阀,一个换向阀连接供应一个反应性气体之路径与供应与非反应性气体之路径,另一个换向阀连接供应另一个反应性气体之路径与供应非反应性气体之路径,同时,经由该主换向阀由一个换向阀供应反应性气体给机器时,由另一个换向阀供应非反应性气体给主换向阀,将供应机器的气体切换成来自另一个换向阀的气体时,将供应反应性气体的换向阀,切换成用以供应非反应性气体后,供应机器的气体中的反应性气体浓度小于预定浓度之后,切换主换向阀,将供应机器的气体切换成来自另一个换向阀的气体。图式简单说明:第一图为显示本发明之气体供应装置之第一形态例的系统图。第二图为显示本发明之气体供应装置之第二形态例的系统图。第三图为显示本发明之气体供应装置之第三形态例的系统图。第四图为显示本发明之气体供应装置之第四形态例的系统图。第五图为显示本发明之气体供应装置之第五形态例的系统图。 |
