发明名称 光二极体
摘要 一种光二极体,此光二极体具有一绝缘层与一接合面,此接合面系由第一极性区与第二极性区所构成,其中第二极性区位于第一极性区上方,且第二极性区窄于第一极性区,这些极性区的材质可以是具有掺质的矽。在接合面的边缘处,第一极性区是平坦的,且在此边缘处外围之第一极性区上方被绝缘层所覆盖。平坦之第一极性区的曲率半径很大,故其所造成的崩溃电压也越大,且其接合面遗漏(junction leakage)也越低。
申请公布号 TW423165 申请公布日期 2001.02.21
申请号 TW088107271 申请日期 1999.05.05
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 蔡孟锦
分类号 H01L33/00 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种光二极体,包括:一第一极性区,该第一极性区系为一含有第一型掺质的材料层;一第二极性区,该第二极性区系为一含有第二型掺质的材料层,且位于该第一极性区上,其中该第二极性区窄于该第一极性区,且该第二型掺质的极性与第一型掺质相反;以及一绝缘层,位于该第二极性区的两侧,并覆盖该第一极性区。2.如申请专利范围第1项所述之光二极体,其中该第一型掺质为N+型掺质。3.如申请专利范围第2项所述之光二极体,其中该第二型掺质为P+型掺质。4.如申请专利范围第1项所述之光二极体,其中该第一型掺质为P+型掺质。5.如申请专利范围第4项所述之光二极体,其中该第二型掺质为N+型掺质。6.如申请专利范围第1项所述之光二极体,其中该绝缘层的材质为氧化物。7.一种浅沟渠隔离结构,包括:一T型氧化插塞;一N井区,连接该T型氧化插塞;一P井区,与该N井区相邻,其中该P井区与该N井区共同构成一构渠;一P+型区,位在该N井区上,其中该P+型区为一含P+型掺质的材料层;一N+型区,位在该P井区上,其中该N+型区为一含N+型掺质的材料层;一开口,该开口系由该N+型区与该P+型区所共同构成,其中该开口宽于该沟渠,并位于该沟渠上而完全暴露出该沟渠,且该开口与该沟渠完全被该T型氧化插塞所填满。8.如申请专利范围第7项所述之浅沟渠隔离结构,其中该P+型掺质的材料层包括含P+型掺质的矽层。9.如申请专利范围第7项所述之浅沟渠隔离结构,其中该N+型掺质的材料层包括含N+型掺质的矽层。图式简单说明:第一图绘示习知的一种接合面构造;第二图绘示根据本发明,一种光二极体的剖面示意图;第三图A绘示一扩散程序所造成的P-N接合面结构示意图;第三图B绘示根据第三图A,不同曲率的极性区构造,崩溃电压对掺质浓度的关系图;第四图A至第四图E绘示根据本发明,一种浅沟渠隔离结构的制造方法;第五图A至第五图E绘示根据本发明,一种浅沟渠隔离结构的制造方法;第六图A至第六图E绘示根据本发明,一种光二极体的制造方法;以及第七图A至第七图E绘示根据本发明,一种光二极体的制造方法。
地址 新竹科学工业园区新竹巿力行二路三号
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