摘要 |
Eine Vorrichtung zur Hochtemperaturerfassung umfasst einen Temperaturmessfühler mit einem Hochtemperaturmesselement (100), einem ersten Anschluss und einem zweiten Anschluss, die aus einem hochtemperaturstabilen Material hergestellt sind und mit dem Messelement verbunden sind. Der Hochtemperaturmessfühler ist in einem länglichen Gehäuse (300) benachbart zu einem ersten Ende desselben angeordnet, und das Gehäuse (300) umfasst eine erste und eine zweite Leiterbahn, die aus einem hochtemperaturstabilen Material hergestellt sind, mit dem ersten und dem zweiten Anschluss verbunden sind und sich in Richtung eines zweiten Endes des Gehäuses erstrecken. Ferner ist eine Anschlussstelle (214, 302) zum Abgreifen eines durch den Hochtemperaturmessfühler erzeugten Signals vorgesehen, die benachbart zu dem zweiten Ende des Gehäuses angeordnet ist. Bei der Herstellung einer solchen Vorrichtung wird zunächst der Messfühler (100) bereitgestellt und anschliessend in einer Ausnehmung eines ersten Substrats (230) benachbart zu einem ersten Ende des Substrats angeordnet. Anschliessend wird ein zweites und ein drittes Keramiksubstrat (200, 260) mit dem ersten Keramiksubstrat verschmolzen, so dass die in dem zweiten und dem dritten Keramiksubstrat angeordneten Leiterbahnen mit den Anschlüssen des Messfühlers verbunden sind, wobei sich diese Leiterbahnen zu einem zweiten Ende des zweiten bzw. dritten Keramiksubstrats erstrecken. |