| 摘要 |
<p>Die Erfindung baut auf der Magnetfeldempfindlichkeit von Magnetfeldsensoren wie z.B. Hallsensoren oder magnetoresistiven Sensoren auf. Ein Spiegel bzw. ein Spiegelgehäuse (3) ist um mindestens zwei Achsen drehbar auf einer Spiegelhalterung (1) gelagert. Ein Sensorarray (5) mit mindestens vier Sensoren bzw. mindestens vier Sensorplatten erfasst die Spiegelstellung in Bezug auf einen linear magnetisierten Bereich (7), dessen lineare Anordnung der Nord- und Südpole von dem Sensorarray detektiert wird. Pro Drehachse werden vorzugsweise mindestens zwei Sensorplatten zur Bestimmung des Drehwinkels um die betreffenden Drehachsen eingesetzt. Für zwei Drehachsen wird also vorzugsweise ein Sensorarray mit vier Sensorplatten eingesetzt. Für drei Drehachsen wird vorzugsweise ein Sensorarray mit sechs Sensorplatten eingesetzt. Das Sensorarray ist zusammen mit der zugehörigen Auswerteelektronik miniaturisierbar und als planares Array hergestellt. Im Fall der Verwendung von Hallsensoren ist das Sensorarray zusammen mit der Auswerteelektronik monolithisch herstellbar.</p> |
