发明名称 PHOTOSENSITIVE COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0864119(B1) 申请公布日期 2001.02.14
申请号 EP19960941630 申请日期 1996.11.27
申请人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH 发明人 MEYER, HEINRICH;URRUTIA DESMAISON, GONZALO;MEUNIER, GILLES;PIRRI, ROSANGELA;VERZARO, FRANCIS
分类号 G03F7/027;C08K5/42;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人
主权项
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