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发明名称 METHOD FOR DEVELOPING AN ENHANCED OXIDE COATING ON A COMPONENT FORMED FROM AUSTENITIC STAINLESS STEEL OR NICKEL ALLOY STEEL
摘要
申请公布号 EP1071835(A1) 申请公布日期 2001.01.31
申请号 EP19990916437 申请日期 1999.04.07
申请人 SEMITOOL, INC. 发明人 RAYMOND, W., WAHLERT;ARTHUR, H., TUTHILL
分类号 C23C8/10;C23C8/02;C23C8/14;C23C8/16;C23C8/18;C23C8/80;C23C22/06;C23C22/08;(IPC1-7):C23C22/82 主分类号 C23C8/10
代理机构 代理人
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