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发明名称
Polishing slurries and a process for the production thereof
摘要
申请公布号
EP0773270(B1)
申请公布日期
2001.01.24
申请号
EP19960308126
申请日期
1996.11.08
申请人
TOKUYAMA CORPORATION
发明人
KATO, HIROSHI;HAYASHI, KAZUHIKO;KOHNO, HIROYUKI
分类号
C09G1/02;(IPC1-7):C09G1/02;H01L21/302
主分类号
C09G1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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