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Ein mikromechanisches Bauelement, beispielsweise ein Druck-, Beschleunigungs- oder Drehratensensor, hat einen Innenraum (5) und eine oder mehrere Kontaktdurchführungen (6a, 6b, 6c) zur elektrischen Verbindung des Innenraums (5) mit dem Aussenraum. Dabei ist ein Glaswafer (2) mit einem Siliziumwafer (3) verbunden. Der Innenraum (5) wird durch eine Vertiefung im Siliziumwafer (3) gebildet, die durch den Glaswafer (2) deckelartig verschlossen ist. In dem Glassubstrat des Glaswafers (2) sind zur Ausbildung der Kontaktdurchführungen (6a, 6b, 6c) Metalldrähte eingegossen bzw. eingeschmolzen. Diese sind mit Sensor- und/oder Aktorelementen im Hohlraum bzw. Innenraum (5) elektrisch verbunden. |
