发明名称 Process for producing semiconductor devices
摘要
申请公布号 CZ9901735(A3) 申请公布日期 2001.01.17
申请号 CZ19990001735 申请日期 1999.05.14
申请人 POLOVODICE, A. S. 发明人 KOJECKY BEDRICH ING. CSC.;KOZISEK JAN ING.;VLNAS STANISLAV
分类号 H01L21/52;H01L23/12;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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