Apparatus for spin coating

摘要

본 고안에 따른 스핀 도포 장치는 척, 구동부, 프레임 및 덮개부를 포함한다. 척에는 도포될 기판이 장착된다. 구동부는 척을 회전시킨다. 프레임은 그 밑면에 배기로가 설치되고, 척의 측면과 밑면을 감싸는 구조로 된다. 덮개부는, 그 중앙에 공기 유입관이 관통되도록 설치되어, 프레임 위에 착탈된다.