发明名称 Positiv arbeitende Fotoresistzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69610161(T2) 申请公布日期 2001.01.11
申请号 DE1996610161T 申请日期 1996.06.03
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 SATO, KAZUFUMI;NITTA, KAZUYUKI;YAMAZAKI, AKIYOSHI;SAKAI, YOSHIKA;NAKAYAMA, TOSHIMASA
分类号 G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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