在颗粒上包覆金刚石样碳的方法与设备

摘要

本发明涉及一种金刚石样碳包覆颗粒的制备方法,所述金刚石样覆层可以包含其他组分。所述方法包括:在真空射频电源电容耦合反应器系统内令众多颗粒与碳等离子体接触,在所述系统内,在电极周围形成离子鞘,搅拌颗粒的方式使它们的表面与等离子体内的反应性物质接触,同时颗粒基本上处于离子鞘内。本发明的优点在于:(i)以高沉积率在颗粒上有效沉积DLC,(ii)沉积致密的DLC覆层;(iii)能够在DLC沉积前用含氧和含氩等离子体通过离子轰击原位进行颗粒的表面清洁和(iv)能够在包覆过程中通过调整覆层的组成和离子轰击的密度改变覆层的整体和表面性能。

主权项

1．一种在颗粒上沉积金刚石样网的方法，包括：提供电容耦合的反应器系统，所述系统具有两个位于可抽真空反应室内的电极；将众多颗粒放在电极之一上或其附近；将反应室抽真空；电极之一接通射频电压，另一电极接地；在反应室内引入含碳源，在众多颗粒附近形成包含反应性物质的等离子体，并在电极周围形成离子鞘；搅拌众多颗粒，使它们的表面与等离子体内的反应性物质接触，同时保持颗粒基本上处于离子鞘内。