| 发明名称 |
Hochgeschwindigkeits-Präzisionspositioniervor- richtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19982072(T1) |
申请公布日期 |
2001.01.04 |
| 申请号 |
DE19991082072T |
申请日期 |
1999.09.13 |
| 申请人 |
GENERAL SCANNING, INC. |
发明人 |
CAHILL, STEVEN P.;HUNTER, BRADLEY L. |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B21/00;G01S17/06;G05D3/00;G12B5/00;H01L21/027;H01L21/68;H02K41/03;(IPC1-7):G05F1/00;H02K41/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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