Ätzverfahren unter Verwendung eines fokussierten Ionenstrahls (FIB) mit 1,2-Dijodoäthan,申请号DE19976003611-传众专利搜索

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发明名称	Ätzverfahren unter Verwendung eines fokussierten Ionenstrahls (FIB) mit 1,2-Dijodoäthan
摘要
申请公布号	DE69703611(D1)	申请公布日期	2001.01.04
申请号	DE19976003611	申请日期	1997.12.10
申请人	SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES INC., SAN JOSE	发明人	CECERE, MICHAEL A.;LUNDQUIST, THEODORE RALPH
分类号	C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01J37/305;H01L21/306;H01L21/321	主分类号	C23F4/00
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