摘要 |
<p>Es ist ein Relativdrucksensor vorgesehen, der gegenüber Verunreinigungen und/oder Feuchtigkeit geschützt ist und ohne Ölfüllung auskommt, mit einer gasgefüllten Meßkammer (5), die mit einer druckempfindlichen Meßmembran (3) verschlossen ist, auf deren Außenseite im Betrieb ein zu messender Druck (P) einwirkt, einem gasgefüllten kompressiblen federelastischen Balg (17, 18), auf den im Betrieb von außen ein Referenzdruck (R) einwirkt, dessen Innenvolumen vom Referenzdruck (R) abhängt und der zur Anpassung eines in der Meßkammer (5) herrschenden Innendrucks an den Referenzdruck (R) mit der Meßkammer (5) verbunden ist, und einem Wandler zur Umwandlung einer druckabhängigen Auslenkung der Meßmembran (3) in eine elektrische Meßgröße. <IMAGE></p> |