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发明名称 SPUTTERING APPARATUS WITH A COIL HAVING OVERLAPPING ENDS
摘要
申请公布号 EP1064670(A1) 申请公布日期 2001.01.03
申请号 EP19990911301 申请日期 1999.03.11
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 DING, PEIJUN
分类号 H05H1/46;C23C14/34;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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