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<p>Ein Verfahren zur Evakuierung einer Mehrkammer-Vakuumanlage zeichnet sich dadurch aus, daß eine gegen Atmosphäre ausstoßende Vakuumpumpe (4) gleichzeitig als Vorpumpe für eine Hochvakuumpumpe (3) und zum Evakuieren einer zweiten Vakuumkammer (2) dient. Durch abwechselndes Öffnen und Schließen von Ventilen (5) und (6) kann das Verfahren so durchgeführt werden, daß der auf der Hochvakuumseite ablaufende Prozeß nicht beeinträchtigt wird. <IMAGE></p> |
