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发明名称 Catadioptric microlithographic reduction objective
摘要
申请公布号 US6169627(A) 申请公布日期 2001.01.02
申请号 US09/263788 申请日期 1999.03.05
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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