Device for microwave powered plasma generation in a cavity

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas durch Mikrowellenanregung. Hierbei wird zwischen wenigstens zwei Mikrowellenstrahlern (8, 9), die sich im Plasmaraum befinden, eine Sperre aus elektrisch leitendem Material vorgesehen. Durch diese Sperre wird verhindert, dass sich die Mikrowellen der beiden Mikrowellenstrahler (8, 9) gegenseitig beeinflussen und somit ein beachtlicher Teil der elektrischen Leistung der Mikrowellenstrahler (8, 9) nicht in die Erzeugung von Plasma umgesetzt werden kann. <IMAGE>