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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PREDICTING PLASMA-PROCESS SURFACE PROFILES
摘要
申请公布号 EP1060501(A1) 申请公布日期 2000.12.20
申请号 EP19990907143 申请日期 1999.02.18
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 BARONE, MARIA, E.;GOTTSCHO, RICHARD, A.;VAHEDI, VAHID
分类号 C23C14/54;C23C16/52;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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