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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR WAFER FABRICATION PROCESS REAL-TIME IN-SITU SUPERVISION
摘要
申请公布号 KR100274957(B1) 申请公布日期 2000.12.15
申请号 KR19980051213 申请日期 1998.11.27
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. 发明人 KORONEL, PHILIP;MAKKANYANG, RENZO
分类号 H01L21/302;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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