发明名称 WAFER HEATER
摘要
申请公布号 KR200207120(Y1) 申请公布日期 2000.12.15
申请号 KR20000019400U 申请日期 2000.07.06
申请人 LEE, HO JIN 发明人 LEE, HO JIN;LEE, MYEONG JAE
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址