发明名称 PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR PROCESS
摘要
申请公布号 KR100276127(B1) 申请公布日期 2000.12.15
申请号 KR19940005067 申请日期 1994.03.15
申请人 TOKYO ELETRON TOHOKU LTD;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 IWABUCHI, KASUHIKO;OKURA, RYOICHI;ASANO, DAKANOBU
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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