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发明名称 SINGLE DRIVE, DUAL PLANE ROBOT
摘要
申请公布号 EP1058602(A1) 申请公布日期 2000.12.13
申请号 EP19990904527 申请日期 1999.02.01
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 CARDUCCI, JIM
分类号 B25J9/06;B25J9/10;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):B25J9/10;H01L21/00 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
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