| 摘要 |
<p>Ein Halbleiter-Gassensor (10) mit einer gassensitiven Schicht (5), einem Heizer (3) zum Aufheizen der Schicht auf eine definierte Messtemperatur und Kontaktelektroden (6a, 6b) zur Messung des elektrischen Widerstands der gassensitiven Schicht (5) umfasst eine Mikrokammer (7), in der die gassensitive Schicht (5) angeordnet ist. Die Kammer (7) ist nach aussen hin abschliessbar und derart gestaltet, dass das Kammervolumen so klein ist, dass mindestens eine Komponente eines zu analysierenden Gases oder Gasgemisches innerhalb einer vorbestimmten Messzeit durch Umsetzung an der gassensitiven Schicht zumindest weitgehend erschöpft ist. Durch den beschränkten Gasvorrat und die Umsetzung einer Komponente des Gases während der Messung können Gase bzw. Gasgemische mit mehreren Komponenten analysiert werden. Dabei wird auf das Messsignal nach der Umsetzung von mindestens einer Komponente zurückgegriffen. In der Kammer können mehrere Sensorelemente mit gassensitiven Schichten angeordnet sein, die bei unterschiedlichen Temperaturen betrieben werden können. Ein Gassensorsystem besteht z.B. aus mindestens zwei Halbleiter-Gassensoren mit Mikrokammern (7), die in einem System aus Gasleitungen und Ventilen angeordnet und individuell befüllbar sind.</p> |
