发明名称 Vacuum coating device for the all-round coating of a substrate by rotation of the substrate in the stream of material
摘要
申请公布号 GB2318589(B) 申请公布日期 2000.12.06
申请号 GB19970020309 申请日期 1997.09.25
申请人 * LEYBOLD SYSTEMS GMBH 发明人 FRIEDRICH * ANDERLE
分类号 C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50;C23C16/44 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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