发明名称 METHOD FOR EVALUATING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100269440(B1) 申请公布日期 2000.12.01
申请号 KR19970015465 申请日期 1997.04.24
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 MAETA, HITOSI
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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