| 发明名称 | 真空装置用驱动机构及真空装置 | ||
| 摘要 | 提供一种小型的、且具有不需要特别的真空密封用装置或机构的上升机构的真空装置。包括:固定设置在气密容器内的一端打开的气囊收纳容器(41)、收纳于该气囊收纳容器内的气囊(42)、以及将上述气囊收纳容器(41)贯通并将高压气体供给该气囊(42)内的装置。通过由所述高压气体供给装置将高压气体供给该气囊(42)内,上述气囊(42)的一部分从所述气囊收纳容器(41)的打开端部突出,以此在上述真空容器中移动对象物体。 | ||
| 申请公布号 | CN1275174A | 申请公布日期 | 2000.11.29 |
| 申请号 | CN99801376.5 | 申请日期 | 1999.08.18 |
| 申请人 | 芝浦机械电子装置股份有限公司 | 发明人 | 木乃切恭治;池田治朗;小田喜文 |
| 分类号 | C23C14/50;C23C16/44;B01J3/02;H01L21/68;G11B7/26 | 主分类号 | C23C14/50 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 侯佳猷 |
| 主权项 | 1.一种真空装置用驱动机构，其特征在于，包括固定设置在气密容器内的一端打开的气囊收纳容器、收纳于所述气囊收纳容器内的气囊以及将高压气体供给所述气囊内的装置，通过由所述高压气体供给装置将高压气体供给该气囊内，所述气囊的一部分从所述气囊收纳容器的打开端部突出，以此在所述真空容器中移动对象物体。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县横浜市 | ||