发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05291568(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920095523 申请日期 1992.04.15
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KASHIMOTO HIROSHI
分类号 H01L21/265;H01L21/768;H01L27/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784;H01L21/90 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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