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发明名称
摘要
申请公布号
JP3111994(B2)
申请公布日期
2000.11.27
申请号
JP19980219183
申请日期
1998.08.03
申请人
发明人
分类号
C23C16/40;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
C23C16/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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