| 摘要 |
본 발명은, 하드디스크나 CD-ROM 등의 각종 기계의 진동검출에 사용되는 압전바이모르프형 가속도센서에 관한 것으로서, 니오브산리튬을 연삭함으로써 자유진동부와 지지체를 일체로 또한 동시에 형성함으로써, 소형·고감도 또한 감도불균일이 작은 저코스트의 가속도센서용 바이모르프형 압전소자를 제공하는 것을 목적으로 한다. 니오브산리튬단결정판을 분극방향을 반대로해서 직접 접합한 자유진동부 (32a)의 한쪽편을, 연삭에 의해 자유진동부(32a)를, 비연삭부를 지지체(33a)로해서 1체로 또한 동시에 형성하고, 전극(31a),(31b)을 무전해도금에 의해 형성한다. |
