摘要 |
本发明属于一种制造片式电感和多层电感用磁性微晶玻璃陶瓷材料的制造方法,所属技术领域为电子材料与器件。本发明提出一种制备低介电常数(ε)小于8、导磁率μ为2~10、导磁率温度系数(α<SUB>μ</SUB>)小于±60ppm/℃、低电磁损耗可用于微波波段使用的高稳定磁性微晶玻璃陶瓷材料的方法,包括原位析晶、颗粒包覆和两相直接复合的工艺方法。本发明所提供的技术主要应用于制造单层或多层电感的磁性微晶玻璃陶瓷粉料以及其他需要增加元件电感量(相应的可减小元件的尺寸)的磁性覆盖层。如图是分别制备在a石英基片上和b本发明所制备的磁性微晶玻璃陶瓷基片上微带线的电感与频率的关系。 |