发明名称
摘要
申请公布号 JP3111478(B2) 申请公布日期 2000.11.20
申请号 JP19910015293 申请日期 1991.02.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;C23F1/00;C23F1/02;G03F7/11;G03F7/40;H01L21/28;H01L21/3213;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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