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发明名称
Reduzierung der Schäden in optischen Elementen bei lithographischen Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号
DE69702147(T2)
申请公布日期
2000.11.16
申请号
DE19976002147T
申请日期
1997.01.14
申请人
AT & T CORP., NEW YORK
发明人
STANTON, STUART THOMAS
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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