| 发明名称 |
Messungen der Krümmung und von Stufenversetzungslinien in Halbleiterprozessen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69423936(T2) |
申请公布日期 |
2000.11.16 |
| 申请号 |
DE19946023936T |
申请日期 |
1994.09.08 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED, DALLAS |
发明人 |
MOSLEHI, MEHRDAD M. |
| 分类号 |
G01L1/00;G01B11/16;G01B11/30;G01L9/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/16;H01L21/00 |
主分类号 |
G01L1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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